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电子显微镜扫描的基本原理

时间:2023-03-20 10:04:09 来源: 点击:

  

  在显微镜被发明出来之前,人类对世界的概念仅限于肉眼,或者手持镜头帮助人们看东西。如今,显微镜已广泛应用于科学研究和工业领域,作为人类探索微观世界不可或缺的工具。人类可以用显微镜看到一个全新的“世界”。

  而且显微镜又分为光学显微镜和电子显微镜,这两种显微镜又有何不同?

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  光学显微镜

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  光学显微镜是一种光学设备,利用光学原理放大人眼无法分辨的细微物体,从而提取细微结构数据。经过300多年的发展,光学显微镜已经完成了结构,并被广泛应用于医学、生物、材料等领域。

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  电子显微镜

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  电子显微镜技术的应用是基于光学显微镜,分辨率更高。根据结构和用途,可分为散射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜。

  主要差别:

  首先,光源不同。光学显微镜选择可见光作为光源,用人眼观察;电子显微镜使用电子束作为光源;其次,成像原理。光学显微镜利用几何光学成像原理进行显像。电子显微镜利用高能电子束对样品表面进行轰击,激发样品表面的各种物理信号,然后利用不同的信号探测器接受物理信号转化为图像信息。

  分辨率也大不相同:光学显微镜的分辨率仅限于0.2-0.5um,因为光的干扰和衍射。由于电子显微镜使用电子束作为光源,其分辨率可达1-3nm,因此光学显微镜的组织观察属于微米级分析,电子显微镜的组织观察属于纳米分析。

  景深也不一样。一般光学显微镜的景深在2-3um之间,对样品表面的光滑度要求很高,所以样品制作过程比较复杂。扫描电子显微镜的景深可以高达几毫米,样品制备相对简单。

  观察光学显微镜分辨率的局限性μ电子显微镜需要用于m以内的材料和材料,而扫描电子显微镜具有景深大、分辨率高、视觉直观、立体感强、放大倍数宽等特点。

  此外,扫描电子显微镜可以测量各种样品,基本上不会损坏和污染原始样品,并且可以同时获得形状、结构、成分和结晶信息。它已广泛应用于生命科学、物理、化学、司法、地质科学、材料科学和工业生产的微观研究。

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  扫描电子显微镜

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  由电子光学镜筒、样品室、真空系统、检测器和成像系统组成的扫描电子显微镜。

  电子显微镜成像扫描原理

  扫描电子显微镜使用电子束一点一点地扫描样品表面,最终产生图像。当电子束照射到样品表面时,电子会与样品的一部分发生相互作用,即弹性散射和非弹性散射,从而产生大量信号。这些信号可用于成像和半定量分析的常见信号包括:俄歇电子、二次电子、背散射电子、X射线、负极莹光等。

  一般来说,当用聚焦电子束扫描电子显微镜时,样品会因结构成分不同而产生不同的信号,探测器会检测到不同的信号,然后显示出来。

  高速直接电子探测器,聚束科技高通量(现场发射)扫描电子显微镜自主研发设计,双通道同步采集。图像中央控制器强大(ICC),双路24Kx24K图像一次最高采集,每张图像高达6亿像素的XHD图像采集只需6.5.s


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