扫描探针显微镜是各种新型探针显微镜(原子力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、扫描离子电导显微镜、扫描电化学显微镜等)的总称。)在扫描隧道显微镜和扫描隧道显微镜的基础上发展起来的。今天简单介绍几种扫描探针显微镜的外观测量方法。
原子力显微镜(AFM)/触摸方法:在AFM触摸模式下，样品表面原子与探头尖端原子之间的作用力通过偏移悬臂检测和测量。反馈机制将保持偏移稳定，同时扫描样品表面观察形状。
原子力显微镜(AFM)/触碰方式
动态显微镜(DFM)：当探头靠近样品表面时，悬臂会不断振动。探头和样品原子之间有力，使悬臂振动很大。因此，在扫描和观察样品表面时，有必要保持稳定的力。
动态显微镜(DFM)
扫描隧道显微镜(STM)：对金属探头和导电样品施加偏压。当它们之间的距离小于几纳米时，检查探头和样品之间通过的隧道穿透电流(在稳定的隧道穿透电流下扫描样品表面)。观察样品的外观和电气状态。
扫描隧道显微镜(STM)
样品智能扫描(SIS)：在SIS模式下，探头通过接近每个测点获得样品的外观和物理信息，然后探头缩回并移动到下一个测点。扫描速度可以根据样品的表面信息自动调整，非常智能。SIS通过减少探头尖端与样品的接触，解决了传统SPM中遇到的问题。特别是对于柔软的材料、粘合剂和高度差较大的样品，也可以实现稳定的检测。在电流模式下检测柔软的材料时，SIS可以在不损坏样品的情况下顺利收集样品的外观信息。SIS也适用于相位。(PM):SIS-PM排除了对样品外观的影响，不会造成PM图像的伪影。SIS-Topo*扫描运动轨迹的示意图:探头和样品只有在获取数据时才会被触摸。当水平方向高速扫描样品并感觉到与样品碰撞时，探头会自动抬起，调整高度，扫描下一个测量点。
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