ZZC系列工具测量显微镜

ZZC系列工具测量显微镜技术参数

标准机型：

一、载物台精度

1.1、XY跑数：5μm

1.2、线性精度：3 ＋ L/50μm (L为被测长度 单位：mm)

规格 金属台面尺寸 玻璃台面尺寸 测量有效行程 光栅尺分辨率

ZZC-16HFA（16*12） 600*450 450*350 400*300 0.0005

ZZC-12HFA（12*8） 500*350 350*250 300*200 0.0005

ZZC-8HFA（8*6） 400*280 245*192 200*150 0.0005

ZZC-6HFA（6*4） 300*250 204*145 150*100 0.0005

ZZC-4HFA（4*4） 285*250 170*145 100*100 0.0005

1.3、重复定位精度：2μm

1.4、X⊥Y: 3μm /100mm（每100mm允许误差3μm）

二、Z轴测量精度

2.1、线性精度：5+ L/25μm

2.2、Z重复定位精度：3μm

2.3、X⊥Z： 0.02mm

2.4、Y⊥Z： 0.02mm

高精度机型：

一、载物台精度

1.1、XY跑数：3μm

1.2、线性精度：2.5 ＋ L/100μm (L为被测长度 单位：mm)

规格 金属台面尺寸 玻璃台面尺寸 测量有效行程 光栅尺分辨率

ZZC-G12HFA（12*8） 500*350 350*250 300*200 0.0001

ZZC-G8HFA（8*6） 400*280 245*192 200*150 0.0001

ZZC-G6HFA（6*4） 300*250 204*145 150*100 0.0001

ZZC-G4HFA(4*4) 285*250 170*145 100*100 0.0001

1.3、重复定位精度：1μm

1.4、X⊥Y: 2μm /100mm（每100mm允许误差2μm）

二、Z轴测量精度

2.1、线性精度：3+ L/25μm

2.2、Z重复定位精度：1μm

2.3、X⊥Z： 0.01mm

2.4、Y⊥Z： 0.01mm