工业测量显微镜广泛应用于许多行业,尤其是电子行业。这是为了观察电路板的结构,准确测量距离“得力”仪器。关于显微镜的基本测量知识及相关术语,今天就和大家聊聊。
从显微镜的主要组成和光路图开始。
主要组成和光路图
主要组成和光路图
左:显微镜的主要构成图,右:显微镜的光路图
照明方式
上图提到了显微镜的三种照明方法。对于不同的照明方法,观察图像也不同,因此有必要根据不同的工件和测量位置选择最合适的照明方法。
1
散射照明
散射照明是通过轮廓光观察,特别是在观察测量轮廓时,边缘清晰易观察。
2
垂直反射照明
垂直反射照明是工件表面的垂直直射测量,适用于观察和测量表面特性。
3
外部照明(环形光纤·环形LED·双光纤)
外部照明是利用斜射光直接测量工件表面,可以实现立体、色彩重复性好的观察。
使用显微镜时,可能会遇到显微镜的专业术语,这些术语是什么意思?
专业用语
专业术语概览
1
综合放大率
综合放大率=X物镜倍数。
例:使用10x目镜和100x物镜组合时,观察图像的综合放大率=10x100=1000x。
2
视场数(F.N)
视场数是指目镜是否可以在广阔的视线中观察指标。样品表面的观察范围取决于目镜的视场阑尾直径,该直径值(取决于mm视场数称为基准)。F.N=FieldNumber。
安装1x通过目镜观察到的图像直径为24mm
3
实视场(FOV)
指实际观察和观察工件的实际范围。
FOV:FieldOfView
4
PC显示倍数(TV综合倍数)
PC显示屏倍数(TV综合倍数)是指相机拍摄元件的对角线长度PC显示屏对角线线长度比。当显微镜通过时。CCD当设备连接到计算机进行图像观察时,需要对显示倍数进行评估。
PC显示屏倍数(TV综合倍数)的计算公式如下:
来一个小试题:
提问:使用10×物镜・2/3英尺CCD相机・17英寸显示器TV综合倍数是多少?
解答:TV综合倍数=10×39.3=393×(大概400倍)
5
工作距离(WD)
工作距离是指从聚焦镜头顶点到检查材料表面的距离,在此距离下可以实现清晰的对焦。工作距离越长,聚焦时操作性越好。没有必要担心镜头会遇到检查对象。
WD:WorkingDistance
示意图工作距离
6
齐焦距离(PFD)
聚焦距离是指从物镜安装位置到聚焦时检查材料表面的距离。
PFD:ParFieldDistance
但从物镜安装面到检查材料表面的距离不同,
所以变倍数时不需要重新对焦。
7
焦点距离(FD)
焦距指镜头(主点)到焦点的距离。FD:FocusDistance
8
焦点深层(DOF)
聚焦深度是指聚焦后,聚焦位置前后移动,也能清晰观察前后移动范围。DOF:DepthOfFocus
高倍率镜头的倍数越大,越深(越短)
低倍数镜头的倍数越小,越深(越长)
人眼分辨率以下(约0.1至0.1).3mm)需要用显微镜观察,显微镜的观察方法有哪些?
观察方法
1
明视场观察
适用于金属、印刷电路板、浅孔表面的垂直直射测量表面。
2
暗视场观察
根据对工件散射光的观察,可以完成刮痕、灰尘、凹凸、低反射工件的观察。
3
偏光观察
适用于半导体材料、液晶、结晶、金属组织、矿物质等表面观察具有偏光特征的物质。
4
微分干预(DIC)观察
利用Nomarski棱镜将光源分成两束,产生明暗对比度的变化,可以立体观察。适用于观察硅片的晶体缺陷、磁头研磨面的损伤检查、涂层表面、金属组织、矿石表面等。